硼11酸三乙酯又稱硼酸乙酯、三乙氧基硼,化學式為C6H15BO3,分子量為145.99,熔點為-84.5℃,沸點為117.5℃。硼11酸三乙酯為無色透明液體,有輕度氣味,有顯著的熱穩(wěn)定性,能與乙醇、乙醚混溶,遇水分解。硼11酸三乙酯可作為摻雜源摻入到硅片表面薄層中,并使其達到規(guī)定的數量和符合要求的分布形式,以改變半導體的電化學性質,可以制造PN結、電阻、互聯線等。
產品指標
產品用途:
硼11酸三乙酯可用于半導體元器件的制造中,以改變半導體的電化學性質,也可用作其他有機硼化物的合成、增塑劑及焊接助熔劑。
包裝、貯存:
電子級硼酸三乙酯貯存在標準無縫鋼瓶中,包裝規(guī)格為19L,具體包裝規(guī)格可根據用戶需求定制更改。產品儲存于干燥、通風良好的庫房中,禁止堆放,遠離火種、熱源,防止雨淋、陽光直射,應與氧化劑、食用化學品分開存放。