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半導(dǎo)體制程(支撐)材料

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三氟化硼11

更新時(shí)間:2020-07-04 點(diǎn)擊數(shù):4654

11B同位素對(duì)熱中子的吸收截面積僅為0.005靶,用于半導(dǎo)體器件制程的摻雜劑能夠有效提高器件的半導(dǎo)體性能和抗輻射干擾能力

產(chǎn)品指標(biāo):

產(chǎn)品用途:

高純?nèi)?11是硅和鍺外延、擴(kuò)散和離子注入過(guò)程的p型摻雜源;是制備光纖預(yù)制件的原料;還可用于制造乙硼-11烷、三氯化硼-11等。  

訂貨信息:

包裝、貯存:

三氟化硼11充裝于鋼瓶中,包裝規(guī)格為1L、4L、40L、47L、100L,瓶?jī)?nèi)壓力為11.8 MPa,具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶要求定制更改。產(chǎn)品儲(chǔ)存于干燥、陰涼的庫(kù)房中,遠(yuǎn)離熱源、火源,與堿金屬、堿土金屬、烷基硝酸酯和石灰分開存放。



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