全氟丁二烯(C₄F₆)是一種無色無味且不溶于水的氣體。全氟丁二烯熔點為-132.0℃，沸點為5.9℃。全氟丁二烯屬于第三代蝕刻氣體，它與傳統(tǒng)含氟蝕刻氣體相比，具有優(yōu)越的蝕刻性能和環(huán)境性能。

全氟丁二烯由于其獨特的F/C比，與傳統(tǒng)使用的全氟飽和氟碳類蝕刻氣體相比，具有更高的蝕刻選擇性、精確性和縱橫比，可以蝕刻小于100nm甚至更窄的電子線路。此外，C₄F₆比c-C₄F₈具有更高的對光阻和氮化硅選擇比，在使用時可以提高蝕刻的穩(wěn)定性，提高蝕刻速率和均勻度，從而提高產(chǎn)品優(yōu)良率。

產(chǎn)品指標

此外，由于全氟丁二烯的環(huán)境性能優(yōu)良，用它取代在氧化膜蝕刻工藝中常用的C₃F₈和c-C₄F₈蝕刻氣，在排氣中可分別降低溫室氣體全氟化合物（PFCs）體積分數(shù)80%和82%。

產(chǎn)品用途

應用于半導體芯片的干法刻蝕氣。

包裝

鋁白色鋼瓶，鋼瓶型號DOT-3AA，瓶閥型號CGA350，產(chǎn)品規(guī)格分為10kg/瓶、20kg/瓶和40kg/瓶三種，包裝規(guī)格可根據(jù)客戶需求定制。

貯存

貯存于陰冷通風干燥處，遠離火種、熱源。