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半導(dǎo)體制程(支撐)材料

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四氟化鈦 CAS#: 7783-63-3

更新時(shí)間:2020-07-04 點(diǎn)擊數(shù):2524

四氟化鈦 CAS#: 7783-63-3

四氟化鈦,又稱氟化鈦,分子式為TiF4,分子量為123.86,熔點(diǎn)為284℃,是一種具有吸濕性的白色粉末。四氟化鈦溶于冷水中可分解,溶于硫酸、乙醇和吡啶,不溶于乙醚。四氟化鈦在微電子工業(yè)、石化等行業(yè)中具有重要的應(yīng)用。

產(chǎn)品指標(biāo)

產(chǎn)品用途:

在電子工業(yè)中,四氟化鈦可用于成膜材料或離子注入摻雜,形成硅化鈦或鈦膜,制作低電阻、高熔點(diǎn)的電路互聯(lián)線和柵極。四氟化鈦在石化行業(yè)中可用作催化劑。  

包裝、貯存:

四氟化鈦儲(chǔ)存于密封的銅質(zhì)容器中,包裝規(guī)格為10g、100g,具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶需求定制更改。四氟化鈦儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房,庫(kù)溫不宜超過37℃,保持容器密封,遠(yuǎn)離火種、熱源。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備和合適的收容材料。



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