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半導體制程(支撐)材料

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六氟化鉬 CAS#: 7783-77-9

更新時間:2020-07-04 點擊數(shù):3306

六氟化鉬 CAS#: 7783-77-9

低溫下為白色結晶固體,吸濕性大,在潮濕空氣中產生藍煙,是一種強氧化劑。在空氣中允許極限濃度(TLV)為5mg/m3。產品用鋼瓶充裝,按有毒氣體貯運。

產品指標:

產品用途:

六氟化鉬的主要應用領域是在微電子工業(yè)中用化學氣相沉積硅化鉬或鉬,以制作低電阻、高熔點的互連線,也可用作強氟化劑、成膜材料及離子摻雜劑,還可用于鉬同位素分離。 

訂貨信息:

包裝、貯存:

六氟化鉬充裝在鋼質無縫氣瓶中,鋼瓶容積分別為8L和47L,具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶需求定制更改。六氟化鉬儲存干陰涼、干燥、通風良好的庫房中,遠離火種、熱源。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設備。



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