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半導(dǎo)體制程(支撐)材料

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高純四氟化硅 CAS#: 7783-61-1

更新時間:2020-07-04 點擊數(shù):2089

高純四氟化硅 CAS#: 7783-61-1

四氟化硅(SiF4),又稱氟化硅,分子式為SiF4,分子量為104.06,是一種無色、有毒、有刺激性臭味的氣體。四氟化硅易潮解,在潮濕空氣中可產(chǎn)生濃煙霧。四氟化硅溶于乙醇、醚、硝酸、氫氟酸,吸濕性非常強,加壓下變成液體,在電子行業(yè)中,四氟化硅有著廣泛的應(yīng)用。

產(chǎn)品指標

產(chǎn)品用途:

四氟化硅在電子行業(yè)中主要用作氮化硅、硅化鉭等的P型摻雜劑、蝕刻劑及外延沉積擴散硅源等,還可用于制備電子級硅烷或硅。此外,四氟化硅可用于制備太陽能電池、氟硅酸和氟化硅、水泥和人造大理石的硬化劑。    

包裝、貯存:

四氟化硅充裝在鋼質(zhì)無縫氣瓶中,鋼瓶容積分別為8 L、44 L、47 L。具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶需求定制更改。四氟化硅儲存于陰涼、干燥、通風良好的庫房中,遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃,儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。



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